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第521章 步进扫描光刻机（第2页）

又是一个多小时。

屋内墙壁上挂载的几台高精度测控仪上，传感器数值一直在微微跳动。

起初，温度曲线还在小幅波动，但随着涡旋式压缩机的持续平稳运转，数字渐渐趋于平缓。

“21.61c…21.65c…22.01c…”

温度算是屋内环境最重要的一项指标，直至稳定在22度左右开始停下，上下起伏在0.02度之间，湿度计也稳定在48%，这台精密空调机组算是达到预期。

边上的空气洁净度检测仪上，微小颗粒物的数值也再度直线下降，这让钱田宝与曹俊二人也松了口气。

两次试验，两次都没掉链子。

一切调试结束，沈永健也留在厂里陪大家吃晚饭。

厂里的小灶师傅似乎早就有准备，必不可少的红烧肉外，其他菜色也很丰富。

…

一连又是三天的测试。

空调机组与空气系统机组都完全符合预期。

沈永健也再次前来厂里，进行最后的光刻机升级工作。

车间外的审核与保卫同志多了好几位，正严格检查着入车间观摩的人员。

主要就是多了几位技术部和研发处的优秀骨干。

这也是沈永健专门提的，光刻机技术保密要求高不假，但对于核心培养的技术人员还是要放宽。

前两代的光刻机升级研制属于特殊，毕竟当时研究微电子的也就那么些人，真正能看懂光刻机大致理论的人都寥寥无几，也没什么必要。

如今微电子厂主要进行集成电路的光刻生产，这些年下来也有一批优秀的同志脱颖而出。

对于改进新一代光刻机的观摩机会，沈永健自是希望新的同志能好好实际感受学习，而不是停留在纸面上。

且这次连带微电子所本身也来了好几位同志。

包括卓邵文与他的几位学生，包括沈永健自己带的学生。

新四车间内，众人静静看着沈永健与卓邵文以及两位大师傅检查所有的零配件。

偌大的车间极为安静，许多第一次见沈永健的技术员，当下甚至能听到自己的心跳和呼吸。

同时尽可能地平复着心情，知晓像今日这种机会难得，不敢打扰装配。

而防静电地板上的四人，穿着严密的无尘服，随着沈永健完成最后确认，便开始正式装配。

几人对于光刻机都是老行家，哪怕杜师傅是第一次参与装配，但通过这些年部分光刻机故障的维修经验，当下动作都行云流水，没有丝毫停顿。

“气浮导轨水平度微调完毕，直线电机定子锁紧。”

刘师傅盯着手中的高精度水平仪，声音透过口罩传出。

杜师傅负责硅片台的安装，这会儿扭矩扳手刚刚放下，配合着刘师傅对掩模台等设备的联通装配。

沈永健这会儿也加入了二人的组装工作，将才研制完成的激光干涉仪安装在关键位置。

由于零配件众多，且安装步骤极为复杂，每次安装到一定程度，还需要进行检验与修正，使得整个安装花费时间不少。

从上午八点到下午六点，中间一共短暂休息了四次，这台崭新的步进扫描光刻机才正式安装完成！

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